随着环(huán)境污染問(wèn)題(tí)的日(rì)益嚴峻,对(duì)空(kōng)气(qì)中(zhōng)气(qì)体和(hé)颗(kē)粒(lì)物(wù)的檢測成(chéng)为(wèi)环(huán)境保护和(hé)健康管(guǎn)理(lǐ)的重(zhòng)要(yào)环(huán)节(jié)。近(jìn)年(nián)来(lái),垂直(zhí)腔面(miàn)發(fà)射激光(guāng)器(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser, VCSEL)技術(shù)在(zài)气(qì)体颗(kē)粒(lì)物(wù)檢測領域展(zhǎn)現(xiàn)出(chū)巨大(dà)的潛力和(hé)優勢。
VCSEL在(zài)气(qì)体颗(kē)粒(lì)物(wù)檢測中(zhōng)的應(yìng)用(yòng)
光(guāng)學(xué)傳感(gǎn)原理(lǐ)
气(qì)体颗(kē)粒(lì)物(wù)檢測的核心(xīn)在(zài)于(yú)对(duì)空(kōng)气(qì)中(zhōng)微小颗(kē)粒(lì)的識别和(hé)計(jì)數。VCSEL作(zuò)为(wèi)光(guāng)源,在(zài)颗(kē)粒(lì)物(wù)檢測中(zhōng)發(fà)揮着至(zhì)關(guān)重(zhòng)要(yào)的作(zuò)用(yòng)。基于(yú)光(guāng)散(sàn)射法(fǎ)的颗(kē)粒(lì)物(wù)測量(liàng)技術(shù),利用(yòng)VCSEL發(fà)射的激光(guāng)照射空(kōng)气(qì)中(zhōng)的颗(kē)粒(lì)物(wù),颗(kē)粒(lì)物(wù)散(sàn)射的光(guāng)線(xiàn)被(bèi)探測器接收(shōu),通过(guò)散(sàn)射光(guāng)的強(qiáng)度(dù)和(hé)分(fēn)布(bù)来(lái)分(fēn)析颗(kē)粒(lì)物(wù)的濃度(dù)和(hé)粒(lì)徑分(fēn)布(bù)。
技術(shù)優勢
所(suǒ)用(yòng)VCSEL波(bō)长(cháng)與(yǔ)功率
在(zài)气(qì)体颗(kē)粒(lì)物(wù)檢測中(zhōng),VCSEL的波(bō)长(cháng)和(hé)功率選擇对(duì)測量(liàng)結果(guǒ)具有(yǒu)重(zhòng)要(yào)影響。常用(yòng)的VCSEL波(bō)长(cháng)包(bāo)括680nm、795nm、850nm等,这(zhè)些(xiē)波(bō)长(cháng)在(zài)空(kōng)气(qì)中(zhōng)的散(sàn)射特(tè)性(xìng)良好(hǎo),且(qiě)对(duì)人(rén)眼安(ān)全(quán)。功率方(fāng)面(miàn),根(gēn)據(jù)檢測靈敏度(dù)和(hé)測量(liàng)範围的需求,可(kě)以(yǐ)選擇不(bù)同(tóng)功率的VCSEL激光(guāng)器,通常在(zài)幾(jǐ)毫(háo)瓦(wǎ)到(dào)幾(jǐ)百(bǎi)毫(háo)瓦(wǎ)之(zhī)間(jiān)。檸檬光(guāng)子提供低(dī)功率VCSEL激光(guāng)芯片(piàn)。
應(yìng)用(yòng)实例
在(zài)工業生(shēng)産線(xiàn)中(zhōng),VCSEL技術(shù)被(bèi)廣泛應(yìng)用(yòng)于(yú)颗(kē)粒(lì)物(wù)傳感(gǎn)器的開(kāi)發(fà)。例如(rú),采用(yòng)集成(chéng)光(guāng)電(diàn)二(èr)极管(guǎn)的VCSEL不(bù)僅能(néng)發(fà)光(guāng),還(huán)能(néng)檢測反(fǎn)向(xiàng)散(sàn)射光(guāng),通过(guò)自(zì)混合干(gàn)涉測量(liàng)方(fāng)法(fǎ)(SMI)实現(xiàn)速度(dù)和(hé)距離的精确測量(liàng)。此(cǐ)外(wài),在(zài)物(wù)聯网(wǎng)應(yìng)用(yòng)中(zhōng),基于(yú)VCSEL技術(shù)的颗(kē)粒(lì)物(wù)傳感(gǎn)器能(néng)夠实时(shí)监測空(kōng)气(qì)中(zhōng)的PM2.5、PM10等细(xì)颗(kē)粒(lì)物(wù)濃度(dù),为(wèi)城(chéng)市(shì)空(kōng)气(qì)質(zhì)量(liàng)监測和(hé)智能(néng)家居(jū)提供重(zhòng)要(yào)數據(jù)支持(chí)。
未来(lái)發(fà)展(zhǎn)方(fāng)向(xiàng)
随着工業4.0和(hé)物(wù)聯网(wǎng)的快(kuài)速發(fà)展(zhǎn),VCSEL在(zài)气(qì)体颗(kē)粒(lì)物(wù)檢測領域的發(fà)展(zhǎn)前(qián)景廣闊。通过(guò)晶圆(yuán)工藝的改進(jìn)和(hé)封(fēng)裝(zhuāng)技術(shù)的優化(huà),VCSEL的性(xìng)能(néng)将進(jìn)一(yī)步提升(shēng),如(rú)降低(dī)發(fà)光(guāng)點(diǎn)間(jiān)距、提高(gāo)光(guāng)電(diàn)轉(zhuǎn)換效率等; VCSEL技術(shù)将在(zài)更(gèng)多(duō)領域得到(dào)應(yìng)用(yòng),如(rú)智能(néng)制造、环(huán)境监測、醫療健康等。
檸檬光(guāng)子VCSEL作(zuò)为(wèi)一(yī)種(zhǒng)先(xiān)進(jìn)的半導体激光(guāng)器技術(shù),在(zài)气(qì)体颗(kē)粒(lì)物(wù)檢測領域展(zhǎn)現(xiàn)出(chū)巨大(dà)的潛力和(hé)優勢。其(qí)高(gāo)精度(dù)、高(gāo)靈敏度(dù)、非(fēi)接觸式測量(liàng)以(yǐ)及(jí)高(gāo)可(kě)靠性(xìng)和(hé)耐用(yòng)性(xìng)等特(tè)點(diǎn),使得VCSEL成(chéng)为(wèi)气(qì)体颗(kē)粒(lì)物(wù)檢測的重(zhòng)要(yào)工具。随着技術(shù)的不(bù)斷進(jìn)步和(hé)應(yìng)用(yòng)領域的不(bù)斷拓展(zhǎn),VCSEL在(zài)气(qì)体颗(kē)粒(lì)物(wù)檢測領域的應(yìng)用(yòng)前(qián)景将更(gèng)加廣闊。